Sistema PECVD a tre zone di riscaldamento 1200C
Sistema PECVD a tre zone di riscaldamento 1200C

Sistema PECVD a tre zone di riscaldamento 1200C

SK2-CVD-12TPB4 è un forno tubolare per il sistema PECVD, costituito da un alimentatore RF da 300 W o 500 W, un sistema di flusso di precisione multicanale, un sistema a vuoto e un forno tubolare. La temperatura comunemente utilizzata è di 1100 gradi Celsius o inferiore e le sue caratteristiche principali sono bassa temperatura di deposizione, velocità elevata, buona qualità della pellicola, meno fori e minore tendenza alle crepe. Un dispositivo ideale per la crescita di nanofili o la preparazione di vari film sottili utilizzando il metodo CVD.
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Caratteristica

 

● Temperatura massima RT-1200 gradi

● Tipo di forno diviso, è possibile aprire il forno.

● Può introdurre più di 2 canali di gas, con un grado di vuoto di 10 Pa utilizzando una pompa meccanica e un alimentatore RF da 500 W per migliorare il segnale.

● Materiali isolanti in fibra ceramica di allumina ad alte prestazioni e di alta qualità

● Precisione del controllo della temperatura ±1 grado

● Con funzione di allarme di sovratemperatura

● La ventola di raffreddamento può ridurre la temperatura dell'involucro

 

Modello

SK2-CVD-12TPB4

Dimensioni: Lunghezza zona di riscaldamento standard (mm)

440mm

Dimensioni: Diametro tubo standard (mm)

∮60mm

Temperatura massima

1200 gradi, temperatura di lavoro continua 1100 gradi.

Tensione (V)

220 1P

Tipo di termocoppia

K

Termosifone

Filo di resistenza in lega HRE

Temp.Precision

±1 grado

Tasso di riscaldamento

0-30 gradi/min regolazione libera

Materiale della camera

Utilizzo di materiale in fibra microcristallina di allumina di alta qualità avanzata

Struttura della fornace

Struttura raffreddata ad aria a doppio strato, la temperatura superficiale è inferiore a 60 gradi

Regolatore di temperatura

Strumento di controllo intelligente della temperatura PID, 30 segmenti di programma, controllo SSR, funzione di auto-regolazione dei parametri PID; aumento della temperatura del programma, conservazione del calore del programma, raffreddamento del programma

Alimentatore RF da 500 W

Potenza di uscita: 5-500W ±1 grado

Frequenza RF: 13,56 MHz ±0.005%

Potenza riflessa: fino a 100W

Corrispondenza: Automatica

Interfaccia RF: 50Ω, tipo N

Raffreddamento: raffreddamento ad aria

Alimentazione: AC 208-240V, 50/60HZ

Sistema di flusso di precisione a 4 canali di gas

1. Portata a fondo scala (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 L/min.

2. Tipo di valvola: elettrovalvola.

3. Posizione di riposo della valvola: normalmente chiusa.

4. Pressione differenziale: (50-300)kpa

5. Resistenza alla pressione: 3mpa.

6. Temperatura di funzionamento: 5-45 gradi

7. Materiali: acciaio inossidabile 316L.

Sistema di vuoto

5*10-3Pa

KF25 attacco rapido, soffietto in acciaio inox, valvola a battente manuale e flangia, pompa per vuoto

Opzionalmente è possibile dotare il veicolo anche di sistemi a vuoto più elevato.

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BENVENUTI OEM/ODM

 

Accessori standard

 

Guanti termici|Gancio per crogiolo|Termocoppia|Blocco tubi|Manuale utente|Strumenti|Pompa per vuoto|Tubo al quarzo|Flangia|Anello di tenuta|Tubo del gas da 10 mm|Supporto flangia, Sistema gas, Potenza RF.

 

Opzionale

 

Diverse zone di riscaldamento tra cui scegliere;

Controllo touch screen LCD per la scelta

Porta RS485/USB per collegare il computer a scelta.

 

Immagine dettagliata per CVD-PECVD

 

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Alimentatore RF da 500 W
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Sistema di vuoto
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Sistema di flusso di precisione a 4 canali di gas

 

Applicazione

 

Questo dispositivo viene utilizzato principalmente per la crescita di nanofili o per preparare vari tipi di crescita di film sottili utilizzando il metodo CVD.

 

Garanzia

 

Garanzia di un anno e supporto tecnico a vita

Suggerimenti speciali:

1. I materiali di consumo quali l'elemento riscaldante, il tubo di quarzo, il crogiolo campione, ecc. non sono coperti dal periodo di garanzia.

2. I danni causati dall'uso di gas corrosivi e gas acidi non sono coperti dalla garanzia.

 

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